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本发明提供一种采用光刻技术制造光纤阵列Ｖ槽的方法，包括如下步骤：在清洁后的熔融石英基板上镀一层保护层；在所述保护层上涂一层光刻胶，并甩胶、烘干；在经过以上工艺的石英基板上盖上掩膜板，再紫外光曝光；显影去除光刻胶中的露光部分，然后清洗烘干；采...
该专利属于无锡爱沃富光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡爱沃富光电科技有限公司授权不得商用。

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