下载微型气压调节阀的技术资料

文档序号:43041727

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本发明涉及一种微型气压调节阀,包括壳体和设置于壳体内的气泵;壳体内设有密封腔,所述密封腔设有进气口和出气口;所述气泵采用微型压电气泵,气泵的进气孔与密封腔的进气口气贯通,气泵的出气孔与密封腔的出气口气贯通。该微型气压调节阀通过密封腔和微型压...
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