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一种低温等离子体气相化学反应装置制造方法及图纸
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下载一种低温等离子体气相化学反应装置的技术资料
文档序号:43035234
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本发明公开一种低温等离子体气相化学反应装置,涉及气体转化领域,包括组合筒体、高压电极和接地电极,组合筒体包括外筒体、延伸管和间隙套设于外筒体中的内筒体,内筒体的一端连接有延伸管,且延伸管位于外筒体的外部,延伸管上设置有进气口,高压电极间隙套...
该专利属于浙江理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江理工大学授权不得商用。
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