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本发明涉及一种石英晶体微量天平的校准方法，属于航空航天技术领域。采用磁控溅射设备，在石英晶体微量天平表面沉积重金属金；给真空系统注入惰性气体；并观察、记录真空室的真空度；监测石英晶体微量天平的频率值和温度值，并保存；然后监测椭偏仪系统的Ｓ偏...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所授权不得商用。