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本发明涉及一种高强韧氮化物薄膜及其制备方法和应用，该氮化物薄膜的成分表达式为：(Ti<subgt;a</subgt;Al<subgt;b</subgt;Nb<subgt;c</subgt;Ta<su...
该专利属于北京航空航天大学宁波创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学宁波创新研究院授权不得商用。

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