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本发明公开了一种高性能真空机的智能控制系统及方法，包括智能控制系统本体，智能控制系统本体包括操作平台、采集平台、仿真平台、检修平台和自检平台；本发明通过设置自检平台，对运行前的真空机进行简易的自检，分别从真空情况、气体洁净度情况和气体流量情...
该专利属于广东邦泽创科电器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东邦泽创科电器股份有限公司授权不得商用。

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