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长晶炉应急冷却系统和冷却控制方法技术方案
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文档序号:42984109
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本申请实施例公开了一种长晶炉应急冷却系统和冷却控制方法,通过设置PCW检测件来检测PCW系统的电流、电压、水压、水流量和/或水温运行参数,通过控制器根据这些运行参数来判断PCW系统是否出现异常,在出现异常时使PCW水泵停止,同时控制应急水泵...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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