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本发明涉及一种带纠偏的晶圆贴膜台装置，包括贴膜机构和贴膜载台机构，在贴膜机构的底部前端设置有贴膜载台机构；贴膜载台机构从上往下依次包括纠偏执行机构和纠偏横移机构。本发明能够根据检测传感器实时监控膜在辊轴上移动过程中，是否发生偏移；本发明通过...
该专利属于苏州德龙激光股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德龙激光股份有限公司授权不得商用。

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