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一种STT-MRAM的磁性隧道结及其制备方法技术
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文档序号:42926125
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本发明涉及磁性存储器领域,特别是涉及一种STT‑MRAM的磁性隧道结及其制备方法,通过依次设置固定层及势垒层,得到MTJ前驱体;在所述MTJ前驱体的势垒层表面,沉积MTJ金属基底层;对所述MTJ金属基底层进行通氧氧化,得到界面调制层;在所述...
该专利属于浙江驰拓科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江驰拓科技有限公司授权不得商用。
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