下载一种高导热碳化硅复合热沉结构及其制备方法和应用的技术资料

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本发明涉及半导体激光器材料制备技术领域,具体公开了一种高导热碳化硅复合热沉结构及其制备方法和应用。本发明设计了一种以碳化硅为衬底的阶梯式传热热沉结构。本发明在碳化硅衬底上依次沉积生长了导热缓冲膜层和导热膜层,利用导热缓冲膜层将低热导率的碳化...
该专利属于石家庄钨铱电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过石家庄钨铱电子科技有限公司授权不得商用。

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