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本发明提供一种结合微球透镜和等效微球的超分辨三维形貌测量装置及方法，该装置包括光束生成单元、分光棱镜、第一显微物镜、微球透镜、第二显微物镜、等效微球、平面标准镜、CCD相机以及数据处理单元；分光棱镜将光束生成单元生成的白光分成测量光束和参考...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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