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本发明公开了一种基于变刚度柔性枢轴结构的微小力值测量装置及方法，所述装置包括圆柱形电容器、Z向精密位移台、第一XY水平位移台、柔性枢轴结构、差分激光干涉仪、重心调整块、托盘、拉伸弹簧、Z轴升降平台，柔性枢轴结构能够绕旋转中心产生铅垂方向的运...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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