下载MOCVD所生长β-Ga2O3外延层的预测方法及相关设备的技术资料

文档序号:42863863

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本申请公开了一种MOCVD所生长β‑Ga<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;外延层的预测方法及相关设备,所述方法包括:获取预设生长参数,并将预设生长参数输入经过训练的外延层预测模型,其中...
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