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一种聚焦离子束中的多功能芯片托盘，包括托盘本体，托盘本体为直径75cm的圆盘，圆盘的整个盘面上设置有线切割矩阵小铝块、铝阵列划槽；圆盘的中部盘面上还设置直径50cm的圆印记；圆盘的盘面上设置有两个螺丝孔；圆盘的底部中间设置有凸台，在凸台的中...
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