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本发明提供的一种可调整入射离子能量、实时监测离子通量的控温样品座，通过绝缘主动冷却样品座和绝缘样品的双重绝缘设计、通过铠装热电偶包套施加负偏压和实时监测离子通量的设计、以及被动式温度调整垫片的使用；主动冷却样品座与热电偶包套都有独立的电源用...
该专利属于中国科学院等离子体物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院等离子体物理研究所授权不得商用。

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