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一种三层套刻结构的高温超导薄膜的制备方法和应用技术
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下载一种三层套刻结构的高温超导薄膜的制备方法和应用的技术资料
文档序号:42809471
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本发明公开了一种三层套刻结构的高温超导薄膜的制备方法和应用,包括,首先制备图形化的底层YBCO超导薄膜,然后在底层图形化YBCO薄膜基础上继续外延生长具有两个微孔窗口的绝缘层薄膜,最后制备顶层YBCO线条连结两个微孔窗口,利用两个微孔窗口构...
该专利属于西安热工研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安热工研究院有限公司授权不得商用。
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