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一种用于大气集水的硅基辐射制冷发射极及其制备方法技术
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下载一种用于大气集水的硅基辐射制冷发射极及其制备方法的技术资料
文档序号:42807132
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本发明公开了一种用于大气集水的硅基辐射制冷发射极及其制备方法,在金刚石线切割的硅衬底上,通过金属辅助化学刻蚀法和圆化处理制备了凹槽与空气微腔的复合嵌套结构并进行局部氧化处理。本发明中,空气微腔的引入使得水滴与辐射制冷发射极界面处存在大量气泡...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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