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本发明的加工装置使用来自光源的光对物体的表面进行肋纹加工，且具备：第1光学系统，将通过对来自光源的光进行分支而生成的多个加工光分别从不同的入射方向照射到物体，由此，在物体的表面形成干涉条纹；及第2光学系统，在多个加工光中照射到物体的至少两个...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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