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本技术公开了一种氦气回收系统，包括：箱体；箱体内部设置有一隔板，隔板将箱体内部分隔成第一空间和第二空间，第一空间的内部设置有过滤网板，过滤网板将第一空间分隔成第一区和第二区，箱体对应第一区的侧壁设置有进气管，隔板对应第二区的位置设置有气口，...
该专利属于上海至嘉半导体气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至嘉半导体气体有限公司授权不得商用。

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