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本发明属于室温键合器件技术领域，具体涉及一种玻璃和晶体键合器件的制备方法。本发明利用等离子体对玻璃和晶体的待键合面进行活化处理，既可清洗待键合面的氧化物膜及污染物，又可在待键合表面形成悬浮键，生成的悬浮键使得待键合面具有强吸附力，在室温键合...
该专利属于云南大学所有，仅供学习研究参考，未经过云南大学授权不得商用。

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