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一种用于真空容器的真空抽气系统设计技术方案
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下载一种用于真空容器的真空抽气系统设计的技术资料
文档序号:4269957
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一种用于真空容器的真空抽气系统主要包括低真空抽气系统、高真空抽气系统、超高真空抽气系统、真空容器测量系统以及真空容器复压系统。真空抽气管道中安装有液氮冷阱,可防止系统反油,避免污染真空容器;采用两组低真空抽气机械泵,可同时工作也可独立工作,...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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