下载一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法的技术资料

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一种无水氟化氢气体中粉尘颗粒的脱除方法属于化工技术领域。首先无机氟化物与酸反应得到无水氟化氢气体,随即通过有机-无机杂化膜;该有机-无机杂化膜,孔径小于1μm和耐温性在20℃-120℃,同时具有耐氢氟酸腐蚀,负压:1000-3000Pa条件...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。

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