下载一种真空箱自动调节装置及方法的技术资料

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一种真空箱自动调节装置,包括:真空箱、与真空箱导通的真空泵及用于控制真空箱及真空泵的控制组件。控制组件包括:与真空箱气密性导通的顶针阀,用于检测真空箱内部压力的差压传感器,连接于一个伺服电机与顶针阀之间的驱动组件,及与伺服电机和真空泵和差压...
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