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本技术涉及半导体用超纯化学品储罐技术领域,且公开了一种具有耐冲击功能的半导体用超纯化学品储罐,包括外壳体,外壳体的内部设置有防护装置,所述防护装置的内部设置有内罐体,外壳体的内底部设置有底端缓冲装置,防护装置包括表面连接套座、橡胶连接垫、侧...该专利属于无锡氟士德装备制造集团有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡氟士德装备制造集团有限公司授权不得商用。
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本技术涉及半导体用超纯化学品储罐技术领域,且公开了一种具有耐冲击功能的半导体用超纯化学品储罐,包括外壳体,外壳体的内部设置有防护装置,所述防护装置的内部设置有内罐体,外壳体的内底部设置有底端缓冲装置,防护装置包括表面连接套座、橡胶连接垫、侧...