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一种超低导通电阻鳍型异质结场效应晶体管制造技术
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文档序号:42679074
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本申请提供一种超低导通电阻鳍型异质结场效应晶体管,包括:第一导电类型衬底;漏极金属层;第一导电类型漂移层;第一导电类型第一导电层;所述第一导电类型第一导电层背离所述第一导电类型漂移层的一侧包括至少一个凸出部;第二导电类型第一半导体层;第二导...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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