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本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域，具体涉及一种Zr‑Co‑RE合金吸气剂靶材及其制备方法和应用，首先通过悬浮熔炼制备合金锭，通过对熔炼工艺的设计，使合金原料的混合更加充分，得到的合金锭的质地更加均匀；然后，将合金锭表面除杂后粉碎得到特定粒...
该专利属于有研工程技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研工程技术研究院有限公司授权不得商用。

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