下载一种芯片加工用蚀刻装置的技术资料

文档序号:42675791

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术属于芯片加工设备技术领域,尤其是一种芯片加工用蚀刻装置,包括功能箱,所述功能箱底部内壁固定安装有安装箱,安装箱与功能箱之间设置有升降机构,安装箱顶部固定安装有蚀刻池,蚀刻池内设置有置放机构;蚀刻池左侧内壁固定安装有防护罩,防护罩左侧内...
该专利属于合肥恒磊电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥恒磊电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。