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一种合成超纯石英砣的方法及设备技术
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文档序号:42673442
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一种合成超纯石英砣的方法及设备,涉及玻璃生产技术领域,包括以下步骤:将高纯度硅盐前体通入蒸发装置中对硅盐前体进行蒸发气化;将气化后的硅盐前体通入反应熔炉内;将氢气和氧气分别通入燃烧器内进行燃烧,所述气化的硅盐前体与氢气及氧气在高温条件下发生...
该专利属于江苏晶隆科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏晶隆科技有限公司授权不得商用。
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