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本发明公开了一种隧道式硅片烘干设备，包括传输线，以及依次对应传输线设置的上料段、烘干段及下料段；上料段设置有位于传输线上方的上料盖板，下料段设置有位于传输线上方的下料盖板；还包括热风系统，热风系统包括设置在烘干段外部的鼓风机，连通至鼓风机的...
该专利属于苏州普伊特自动化系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州普伊特自动化系统有限公司授权不得商用。

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