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微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置制造方法及图纸
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下载微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置的技术资料
文档序号:42669811
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本发明涉及一种微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置,微小气体流量计流导元件入口微量氦气的获得装置包括配置有第一测试室的氦气配气管路和配置有第二测试室的氢气配气管路,氢气配气管路和氦气配气管路并联后通过第七阀门依次连接有第三测试室、第...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。
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