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本发明涉及一种聚焦镜装调系统及方法,具体涉及一种全视场角分辨优化的X射线聚焦镜装调系统及方法。解决了现有聚焦镜的装调系统和方法难以使几十层超薄镜片同轴精密装调,并保持全视场角分辨率最优的技术问题。本发明系统包括光学平台、镜组安装调节平台、镜...该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种聚焦镜装调系统及方法,具体涉及一种全视场角分辨优化的X射线聚焦镜装调系统及方法。解决了现有聚焦镜的装调系统和方法难以使几十层超薄镜片同轴精密装调,并保持全视场角分辨率最优的技术问题。本发明系统包括光学平台、镜组安装调节平台、镜...