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本发明的蒸镀掩模具备：包含硅的掩模基板；具有第1面和位于第1面的相反侧且与掩模基板相向的第2面的掩模层；和贯通掩模层的贯通孔。掩模基板具有基板开口。在俯视时，贯通孔位于基板开口内。掩模层具有：形成第1面的掩模主体层；和位于掩模主体层与掩模基...
该专利属于大日本印刷株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本印刷株式会社授权不得商用。

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