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本发明公开了一种多腔室碳化硅晶片生产装置，涉及晶片生产技术领域，包括生产筒，生产筒下部设有保温室，生产筒内位于保温室上方依次设有风冷腔与水冷腔，上盖中心部及风冷腔与水冷腔底部壁上设有位于同一直线上的贯穿口，底板位于生产筒两侧固定设有外框架，...
该专利属于安徽微芯长江半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽微芯长江半导体材料有限公司授权不得商用。

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