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本申请涉及一种液态氙气均分设备，其包括底座以及设置在所述底座上的进液管道，所述底座上开设有储液腔，所述储液腔侧壁贯穿开设有多个等高的第一出液孔，其特征在于：所述储液腔内安装有内壳体，所述内壳体上开设有引流腔，所述进液管道一端伸入所述引流腔内...
该专利属于上海润理真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海润理真空技术有限公司授权不得商用。

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