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本发明公开了一种压电驱动与柔性机构相结合缓解划痕仪电机迟滞的方法，包括：设计并制造一套集成压电驱动和柔性机构的精密力补偿系统；将精密力补偿系统安装在z轴电机加载平台的输出端；测试压头安装在精密力补偿系统的输出端；恒载荷划痕测试初始阶段，z轴...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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