下载一种石墨烯与Ga2O3集成的探测器阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:42652430

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本发明公开了一种石墨烯与Ga<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;集成的探测器阵列及其制备方法,包括:衬底、有源层、石墨烯层、第一金属电极和第二金属电极;所述有源层通过光刻和刻蚀形成隔离,...
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