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本发明公开了一种量子点发光二极管量子层蒸镀设备,包括:承重座、蒸镀室、蒸镀装置、导流装置、传输装置和真空泵,其中,蒸镀室设置在承重座的上方,蒸镀装置滑动设置在承重座上,导流装置和真空泵分别设置在蒸镀室上,且导流装置的储料端抵接在蒸镀装置的加...该专利属于江苏兴启航新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏兴启航新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种量子点发光二极管量子层蒸镀设备,包括:承重座、蒸镀室、蒸镀装置、导流装置、传输装置和真空泵,其中,蒸镀室设置在承重座的上方,蒸镀装置滑动设置在承重座上,导流装置和真空泵分别设置在蒸镀室上,且导流装置的储料端抵接在蒸镀装置的加...