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一种具有背势垒块的场效应晶体管制造技术
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文档序号:42648954
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本发明公开了一种具有背势垒块的场效应晶体管,涉及半导体技术,针对现有技术中背势垒只适用于限定材料体系的问题而提出本方案。衬底通过离子注入的方式在栅极下方形成背势垒块,所述背势垒块用于耗尽半导体层在对应位置的沟道载流子。其优点在于,背势垒块存...
该专利属于中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过中山大学授权不得商用。
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