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本申请涉及一种电子级四氯化硅的合成及纯化方法，具体包括以下步骤，催化剂除水，去除铁基碱性树脂催化剂中的水分；催化反应，三氯氢硅作为原料，从装有铁基碱性树脂催化剂的RD塔反应段上部进入，原料在反应段进行催化转化，得到四氯化硅反应产品；初分离，...
该专利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。

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