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一种光外差干涉检测修正系统及修正方法技术方案
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文档序号:42640035
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本发明公开了一种光外差干涉检测修正系统及修正方法,涉及光外差干涉检测修正技术领域。本发明包括光源模块、调制模块、检测模块、数据处理模块、自适应光学补偿模块、智能噪声抑制模块、远程监控和校准模块、处理模块。本发明通过自适应光学补偿模块实时监测...
该专利属于山西科技学院所有,仅供学习研究参考,未经过山西科技学院授权不得商用。
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