温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种在带状纤维织物上磁控溅射纳米银的卷绕镀膜机,在椭圆筒状真空室长轴两侧壁上,对称安装多台离子束源及矩形平面大面积磁控溅射源。在中央位置安装具有收、放辊和沉积用的水冷的卷绕镀膜辊,通过自动平衡张力机构使带状纤维织物张力适中,走...该专利属于北京振涛国际钛金技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京振涛国际钛金技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种在带状纤维织物上磁控溅射纳米银的卷绕镀膜机,在椭圆筒状真空室长轴两侧壁上,对称安装多台离子束源及矩形平面大面积磁控溅射源。在中央位置安装具有收、放辊和沉积用的水冷的卷绕镀膜辊,通过自动平衡张力机构使带状纤维织物张力适中,走...