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本技术公开了一种硅片清洗辅助装置，包括吹气底板、吹气侧板、静音型气泵和二通控制阀，吹气底板的顶端嵌设安装有三组第一单向出气帽，吹气侧板的一侧嵌设安装有三组第二单向出气帽，吹气底板的内部和吹气侧板的内部均固定安装有分叉连接管，两个分叉连接管的...
该专利属于济南紫源电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南紫源电子有限公司授权不得商用。

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