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巨量转移时二维驻波的控制方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸
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文档序号:42637195
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本发明涉及MicroLED巨量转移技术领域,公开了一种巨量转移时二维驻波的控制方法、装置、设备及存储介质。该方法包括:通过搭建偏振光源、偏振相机及相关光路对氛围介质中MicroLED载物面板的二维驻波进行检测;通过在MicroLED载物面板...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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