下载一种感光树脂组合物、干膜抗蚀剂层叠体及其应用的技术资料

文档序号:42636291

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本发明提供了一种感光树脂组合物、干膜抗蚀剂层叠体及其应用,该树脂组合物包括(A)50~65重量份的碱可溶性树脂、(B)30~45重量份的光聚合单体、(C)2.0~6.0重量份的光引发剂和(D)0.01~0.6重量份的光敏剂;所述光聚合单体包...
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