下载一种位置调整机构、下片装置及膜片缺陷检测设备的技术资料

文档序号:42634880

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本发明公开了一种位置调整机构、下片装置及膜片缺陷检测设备,包括第一方向调整机构,所述第一方向调整机构包括:拨片组件,包括压片板和驱动所述压片板在空闲位置和压片位置之间切换的压片驱动装置,所述压片板的压片位置为所述压片板与膜片的表面接触的位置...
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