温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提出的是一种结合激光散斑干涉与剪切术的缺陷检测装置及方法，本发明检测装置的结构包括第一激光光源单元(1‑1)，第二激光光源单元(1‑2)，样品台(3)，参考光路单元(4)，剪切装置单元(5)，第一成像单元(6a)，第二成像单元(6b)...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。