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一种热化学处理设备(100)，包括反应室(140)和预热室(110)，所述预热室包括在第一进气口(1110)和反应室之间限定第一气体循环路径的第一隔室(111)。预热室(110)进一步包括独立于第一隔室(111)的至少一个第二隔室(112)...
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