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本发明涉及半导体设备技术领域，提出一种基于MEMS的气体控制模块、构造方法及其应用于的半导体设备。该气体控制模块包括第一衬底，其上设有多个第一微阀门阵列，其中多种反应气体通过所述第一微阀门阵列流入气体控制模块；以及第二衬底，其上设有多个第二...
该专利属于上海引万光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海引万光电科技有限公司授权不得商用。

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