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本发明涉及表面工程技术领域，具体涉及一种离子束辅助的氧扩散阻挡层的制备方法，其包括步骤：将待处理的材料放置于真空室并抽真空、加热至预设温度；启动氧离子源，利用氧离子束轰击材料的表面；向真空室内通入设定氧分压的氧气，达到设定时间后，停止通入氧...
该专利属于中国航空制造技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空制造技术研究院授权不得商用。

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