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基于质谱计比较法测量(10-8~10-11)m3/s分子流导的装置及方法制造方法及图纸
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下载基于质谱计比较法测量(10-8~10-11)m3/s分子流导的装置及方法的技术资料
文档序号:42614238
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本发明涉及一种基于质谱计比较法测量(10<supgt;‑8</supgt;~10<supgt;‑11</supgt;)m<supgt;3</supgt;/s分子流导的装置及方法,包括进气管路、比较管路、待...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。
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